发布日期:2024-06-20 12:52

八氟环丁烷作为芯片工业生产环节用到的重要的一种电子特气,随着我国半导体产业规模不断扩大制程升级,对电子级八氟环丁烷的需求量也不断增加,要求越来越严格。

 

八氟环丁烷(Octafluorocyclobutane,又称全氟环丁烷,简称C-318)是美国杜邦公司于20世纪50年代开发的一种特种含氟气体。在常温下,八氟环丁烷是一种无色、无味、不可燃的气体。 在通常条件下,八氟环丁烷性质稳定,在高温、高能量或有金属催化的条件下,八氟环丁烷会分解成氟碳化合物。

 

由于八氟环丁烷无毒且ODP为零,常代替CFCs被用作混合制冷剂,以减少对大气臭氧层的破坏。八氟环丁烷的温室效应指数是六氟化硫的1/3,并且八氟环丁烷气体在均匀电场下的绝缘强度是六氟化硫气体的1.11~1.80倍,因此,八氟环丁烷气体也代替六氟化硫用作高压电器设备中的绝缘介质。

 

八氟环丁烷温度区间宽泛,也被用作热泵工作流体。另外,八氟环丁烷也被用于大规模集成电路的蚀刻剂以及光纤领域的清洗剂。 近些年,我国半导体产业规模不断扩大,对电子级八氟环丁烷的需求量也不断增加,随着芯片制程尺寸的不断减小,对八氟环丁烷的纯度要求也越来越严苛,纯度达到5N级以上才能满足芯片生产要求.

 

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